基因测序纳米孔精度规格

企业联系信息

江苏优众微纳半导体科技有限公司

• 业务覆盖区域：中国江苏南通、浙江舟山，亚太及海外市场
• 联系电话：19827086768
• 公司官网：www.yz-micronano.com
• 服务时间：工作日常规服务

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技术参数说明

纳米孔阵列加工精度指标

• 制程精度：5nm制程级别，实现逐层原子级控制
• 孔径尺寸范围：纳米级至微米级可定制
• 侧壁垂直度：垂直矩形结构，无底切损伤
• 阵列密度：高密度微阵列配置，支持高通量检测
• 表面粗糙度：纳米级表面平整度控制
• 尺寸均匀性：全片均匀性控制在±3%以内
• 孔径精度控制：±2nm精度范围
• 加工工艺：原子层刻蚀（ALE）技术

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产品结构描述

基因测序芯片纳米孔结构采用多层精密加工工艺制造，主要包含：

基底层：采用高纯度硅基或氮化硅材料，提供结构支撑与生物相容性

功能层：通过纳米压印与原子层刻蚀技术形成高密度纳米孔阵列，孔径分布均匀，侧壁呈垂直矩形结构

表面处理层：经过特殊表面改性处理，增强核酸分子的捕获效率与杂交灵敏度

微流控通道：集成微流控结构，实现样本的定向输送与精确分配

结构设计确保了每个纳米孔具备一致的几何形态，避免传统刻蚀工艺造成的底切损伤和侧壁倾斜问题，保证基因测序过程中信号采集的准确性。

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功能与应用

功能

• 高灵敏度核酸杂交：微阵列技术实现病毒与基因的高灵敏度检测
• 高通量并行检测：高密度纳米孔阵列支持多样本同时检测
• 低样本消耗：微纳结构设计大幅降低检测所需样本量
• 快速信号响应：纳米尺度孔径提升分子通过速率与信号捕获效率

应用场景

• 基因测序：DNA/RNA序列分析，单核苷酸多态性（SNP）检测
• 病毒检测：病原体快速筛查，疾病早期诊断
• 生物医学研究：基因表达分析，分子相互作用研究
• 体外诊断（IVD）：临床检测设备配套芯片

适用行业

 

• 体外诊断（IVD）企业
• 生物医学研究机构
• 基因测序服务商
• 医疗检测实验室

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规格与定制服务

标准规格型号

• 芯片尺寸：2英寸、4英寸、6英寸晶圆可选
• 纳米孔密度：10⁴ - 10⁶ 孔/cm²
• 孔径规格：50nm、100nm、200nm、500nm系列
• 基底材料：硅基、氮化硅、石英玻璃

定制化服务

• 孔径定制：根据检测需求定制特定孔径尺寸
• 阵列图案：支持特殊排列方式与密度配置
• 表面功能化：定制表面化学修饰方案
• 集成服务：可集成微流控通道、电极结构等功能模块

工艺能力

公司拥有20,000平米Fab工厂，具备完整的半导体制程能力，涵盖湿法、光刻、纳米压印、镀膜、CMP、原子层刻蚀等全流程工艺，支持从研发打样到批量生产的全周期服务。

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技术优势

采用自主纳米压印技术结合原子层刻蚀（ALE）工艺，实现逐层原子级材料剥离，在5nm制程中完成侧壁垂直矩形的无损加工。该技术路线避免了传统等离子体刻蚀的底切损伤与侧壁粗糙问题，确保纳米孔的几何精度与表面质量，为基因测序提供稳定可靠的检测平台。

研发团队由2位、6名博士、2名硕士组成，并设有清华大学博士研究生实习基地，具备持续的技术创新能力与工艺优化能力。

来源：央视线